Сушильные шкафы Yamato для чистых помещений
Сушильные шкафы для чистых помещений Yamato
В условиях производства микроэлектроники, оптики или фармацевтических субстанций стандартная конвекционная сушка недопустима. Обычный сушильных шкафах образуются микрочастицы (продукты износа нагревателя, пыль с уплотнителей), которые оседают на образцах и приводят к браку. Для задач, где критична стерильность среды, Yamato Scientific разработала специализированные серии DE и DT с классом чистоты ISO Class 5 (Class 100).
Сушильные шкафы для чистых помещений Yamato оснащены системой принудительной циркуляции через термостойкий HEPA-фильтр. Воздух, попадающий в рабочую камеру, очищается от 99,97% частиц размером 0,3 мкм. Это гарантирует, что ваши кремниевые пластины, линзы или медицинские инструменты проходят термообработку в беспылевой среде на протяжении всего цикла — от нагрева до остывания.
Сравнение серий: DE или DT?
Линейка разделена на две серии под разные технологические задачи:
|
Характеристика |
Серия DE (Standard) |
Серия DT (High Performance) |
|
Назначение |
Сушка, полимеризация, стерилизация |
Высокотемпературный отжиг, Hard bake |
|
Температура |
до +260°C |
до +360°C |
|
Класс чистоты |
ISO Class 5 (Class 100) |
ISO Class 5 (Class 100) |
|
Точность (при макс. t) |
±1.0°C |
±4.0°C (при 360°C) |
Серия DE: Стандарт чистоты (до 260°C)
Оптимальный выбор для большинства лабораторных задач: сушка кремниевых пластин, компонентов оптики и медицинских инструментов.
- Визуальный контроль: Оснащена дифференциальным манометром для отслеживания давления на HEPA-фильтре. Оператор видит реальное состояние фильтра.
- Защита образцов: Система самодиагностики отключает нагрев при малейшем сбое, предотвращая порчу термочувствительных материалов.
Серия DT: Высокотемпературная обработка (до 360°C)
Единственное решение в классе, поддерживающее температуру +360°C при сохранении класса чистоты 100.
- Применение: Финальный отжиг полупроводниковых структур, полиимидизация, работа с керамикой.
- Скорость: Усиленная теплоизоляция и мощные нагреватели сокращают время выхода на рабочий режим и восстановления температуры после открытия двери.
Технологические особенности
HEPA-фильтрация входящего потока
Воздух проходит через термостойкий HEPA-фильтр (эффективность 99,97% для частиц 0,3 мкм) перед попаданием в рабочую камеру. Контакт образцов с продуктами износа нагревателя исключен.
Горизонтальный ламинарный поток
Обеспечивает равномерное распределение тепла по всему объему камеры. В отличие от естественной конвекции, здесь нет «застойных зон», где может скапливаться пыль, а температурный градиент минимален.
Герметичность контура
Уплотнители из силикона (или Viton по запросу) и механизм плотного прижима двери предотвращают подсос неочищенного воздуха из помещения лаборатории, даже если давление внутри камеры меняется.
Программируемый контроллер VS4
Позволяет задавать сложные температурные программы (до 99 шагов). Возможна реализация циклов «Нагрев → Выдержка → Управляемое остывание» в автоматическом режиме.
Сферы применения
Оборудование Yamato серий DE/DT является отраслевым стандартом для следующих задач:- Производство полупроводников: Сушка кремниевых пластин (wafer drying), отверждение фоторезиста.
- Оптика и фотоника: Термообработка линз, зеркал и лазерных компонентов без риска запыления поверхности.
- Аэрокосмическое приборостроение: Тестирование электронных компонентов на термостойкость.
- Фармацевтика: Стерилизация инструментов и стеклянной посуды (депирогенизация) по стандартам GMP
Начните с предложения от Yamato Scientific. Скорее всего, оно будет на 15% выгоднее, чем у любого другого производителя с аналогичными характеристиками и качеством (премиум-класса).
Для подбора модели под ваш класс чистоты и температурный режим свяжитесь с нами:
Телефон: +7 495 740-62-71
Email: sales@yamatorussia.ru